激光干涉仪维护保养要求：1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。2、光学零件不用时，第三方计量检测应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。6、计量检测经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。

激光干涉仪主要特点：1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器；3.可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米；4.第三方计量检测可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性；5.全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架；6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间；7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等；8、计量检测机构激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点；9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用；

1.计量检测操作人员应进行必要的技术培训，取得上岗证书，熟悉仪器的使用说明书，了解工作性能、附件的作用及用法，严格按操作规程操作。2.仪器的使用环境如温度、湿度、防磁埸、防震、防潮、防尘条件应符合规定要求。定期进行保养，如工作导轨工作面应上油，电器应定期通电等，防锈、防霉变措施正确。除仪器的专业维修人员外，任何人不得任意拆装、调整，第三方计量检测有封印的部位的封记不得破坏，以免破坏仪器的性能。仪器使用结束，对有可能影响仪器性能的部位如手接触非油漆部位等进行必要的保养，切断工作电源，做好交班记录。

数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，计量检测机构以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，第三方计量检测由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。