从激光器发出的光束，第三方电学计量检测经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，电学计量检测机构算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。湖南电学计量检测利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，第三方电学计量检测同时可大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到更高的精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

三坐标测量机在模具行业中的应用相当广泛，电学计量检测是一种设计开发、检测、统计分析的现代化的智能工具，更是模具产品无与伦比的质量技术保障的有效工具。当今主要使用的三坐标测量机有桥式测量机、龙门式测量机、水平臂式测量机和便携式测量机。测量方式大致可分为接触式与非接触式两种。模具的型芯型腔与导柱导套的匹配如果出现偏差，可以通过三坐标测量机找出偏差值以便纠正。电学计量检测机构在模具的型芯型腔轮廓加工成型后，很多镶件和局部的曲面要通过电极在电脉冲上加工成形，从而电极加工的质量和非标准的曲面质量成为模具质量的关键。

激光干涉仪主要特点：1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器；3.可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米；4.第三方电学计量检测可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性；5.全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架；6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间；7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等；8、电学计量检测机构激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点；9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用；