从激光器发出的光束，综合性化学计量检测经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，化学计量检测中心算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

激光干涉仪主要特点：1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器；3.可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米；4.综合性化学计量检测可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性；5.全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架；6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间；7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等；8、化学计量检测中心激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点；9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用；

激光干涉仪维护保养要求：1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。2、光学零件不用时，综合性化学计量检测应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。6、化学计量检测经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。

三坐标测量机在模具行业中的应用相当广泛，化学计量检测是一种设计开发、检测、统计分析的现代化的智能工具，更是模具产品无与伦比的质量技术保障的有效工具。当今主要使用的三坐标测量机有桥式测量机、龙门式测量机、水平臂式测量机和便携式测量机。测量方式大致可分为接触式与非接触式两种。模具的型芯型腔与导柱导套的匹配如果出现偏差，可以通过三坐标测量机找出偏差值以便纠正。化学计量检测中心在模具的型芯型腔轮廓加工成型后，很多镶件和局部的曲面要通过电极在电脉冲上加工成形，从而电极加工的质量和非标准的曲面质量成为模具质量的关键。

1.化学计量检测操作人员应进行必要的技术培训，取得上岗证书，熟悉仪器的使用说明书，了解工作性能、附件的作用及用法，严格按操作规程操作。2.仪器的使用环境如温度、湿度、防磁埸、防震、防潮、防尘条件应符合规定要求。定期进行保养，如工作导轨工作面应上油，电器应定期通电等，防锈、防霉变措施正确。除仪器的专业维修人员外，任何人不得任意拆装、调整，综合性化学计量检测有封印的部位的封记不得破坏，以免破坏仪器的性能。仪器使用结束，对有可能影响仪器性能的部位如手接触非油漆部位等进行必要的保养，切断工作电源，做好交班记录。

用三坐标测量机测量电极的形状必不可少。三坐标测量机可以应用3D数模的输入，将成品模具与数模上的定位、尺寸、相关的形位公差、曲线、曲面进行测量比较，输出图形化报告，直观清晰的反映模具质量，化学计量检测中心从而形成完整的模具成品检测报告。在某些模具使用了一段时间出现磨损要进行修正，但又无原始设计数据(即数模)的情况下，可以用截面法采集点云，用规定格式输出，探针半径补偿后造型，从而达到完好如初的修复效果。当一些曲面轮廓既非圆弧，又非抛物线，而是一些不规则的曲面时，湖北化学计量检测可用油泥或石膏手工做出曲面作为底胚。然后用三坐标测量机测出各个截面上的截线、特征线和分型线，用规定格式输出，探针半径补偿后造型，在造型过程中圆滑曲线，从而设计制造出全新的模具。